题目
更新时间：2024-05-10 04:38:15
求解答，词语工艺窗口是什么意思？再说说工艺窗口有什么含义？答案
工艺窗口的词语属性
拼音gōng yì chuāng kǒu
拼音字母gong yi chuang kou
拼音首字母gyck
工艺窗口的百科含义
光刻工艺容限，也称光刻工艺窗口，指的是保证掩模图形能正确复制到硅片上的曝光剂量和离焦量范围，它包含三个方面的信息：成像精确度、曝光度和焦深。
光刻工艺容限，也称光刻工艺窗口，指的是保证掩模图形能正确复制到硅片上的曝光剂量和离焦量范围，它包含三个方面的信息：成像精确度、曝光度和焦深。